Depozitimi
Merrni njohuri dhe përshpejtoni procesin e zhvillimit.
Advanced Energy ofron zgjidhje për furnizimin me energji dhe kontrollin për aplikacione kritike të depozitimit të filmit të hollë dhe gjeometri të pajisjeve. Për të zgjidhur sfidat e përpunimit të pllakave të pllakës, zgjidhjet tona të konvertimit të energjisë me precizion ju lejojnë të optimizoni saktësinë e energjisë, precizitetin, shpejtësinë dhe përsëritshmërinë e procesit.
Ne ofrojmë një gamë të gjerë frekuencash RF, sisteme energjie DC, nivele të personalizuara të daljes së fuqisë, teknologji përputhëse dhe zgjidhje për monitorimin e temperaturës me fibra optike që ju mundësojnë vërtet të kontrolloni më mirë plazmën e procesit. Ne gjithashtu integrojmë Fast DAQ™ dhe paketën tonë të mbledhjes së të dhënave dhe aksesueshmërisë për të ofruar njohuri mbi procesin dhe për të shpejtuar procesin e zhvillimit.
Mësoni më shumë rreth proceseve tona të prodhimit të gjysmëpërçuesve për të gjetur zgjidhjen që i përshtatet nevojave tuaja.
Sfida juaj
Nga filmat e përdorur për të modeluar dimensionet e qarqeve të integruara te filmat përçues dhe izolues (strukturat elektrike), te filmat metalikë (ndërlidhja), proceset tuaja të depozitimit kërkojnë kontroll në nivel atomik — jo vetëm për secilën veçori, por në të gjithë pllakëzën.
Përtej vetë strukturës, filmat e depozituar duhet të jenë me cilësi të lartë. Ato duhet të kenë strukturën e dëshiruar të kokrrizave, uniformitetin dhe trashësinë konformale, si dhe të jenë pa boshllëqe — dhe kjo përveç sigurimit të streseve mekanike (shtypëse dhe tërheqëse) dhe vetive elektrike të kërkuara.
Kompleksiteti vazhdon të rritet. Për të adresuar kufizimet e litografisë (nyjet nën 1X nm), teknikat e vetë-rreshtimit të modelimit të dyfishtë dhe katërfish kërkojnë që procesi juaj i depozitimit të prodhojë dhe riprodhojë modelin në çdo pllakë.
Zgjidhja jonë
Kur vendosni aplikacionet më kritike të depozitimit dhe gjeometritë e pajisjeve, ju nevojitet një lider i besueshëm në treg.
Furnizimi me energji RF dhe teknologjia e përputhjes me shpejtësi të lartë e Advanced Energy ju mundësojnë të personalizoni dhe optimizoni saktësinë e energjisë, precizitetin, shpejtësinë dhe përsëritshmërinë e procesit të kërkuar për të gjitha proceset e avancuara të depozitimit PECVD dhe PEALD.
Përdorni teknologjinë tonë të gjeneratorit DC për të përshtatur me hollësi përgjigjen e harkut të konfigurueshëm, saktësinë e fuqisë, shpejtësinë dhe përsëritshmërinë e procesit të kërkuara në proceset e depozitimit PVD (spërkatje) dhe ECD.
Përfitimet
● Stabiliteti i përmirësuar i plazmës dhe përsëritshmëria e procesit rrisin rendimentin
● Dërgim i saktë RF dhe DC me kontroll të plotë dixhital ndihmon në optimizimin e efikasitetit të procesit
● Përgjigje e shpejtë ndaj ndryshimeve të plazmës dhe menaxhimit të harkut
● Pulsimi shumënivelësh me akordim adaptiv të frekuencës përmirëson selektivitetin e shkallës së gdhendjes
● Mbështetje globale në dispozicion për të siguruar kohëzgjatjen maksimale të funksionimit dhe performancën e produktit