Furnizimi me energji elektrike me frekuencë të mesme të serisë MSB
-
Furnizimi me energji elektrike me frekuencë të mesme të serisë MSB
Furnizimi me energji RF i serisë RHH mbështetet në teknologjinë e pjekur të gjenerimit RF për t'u ofruar klientëve furnizim me energji RF me fuqi më të madhe, saktësi më të lartë dhe përgjigje të shpejtë. Me fazë mund të vendoset, pulsi i kontrollueshëm, akordimi dixhital dhe funksione të tjera. Fushat e aplikueshme: industria fotovoltaike, industria e ekranit të paneleve të sheshta, industria e gjysmëpërçuesve, industria kimike, laboratori, kërkimi shkencor, prodhimi, etj.
Proceset e aplikueshme: depozitimi i avullit kimik i përmirësuar i plazmës (PECVD), gravurja e plazmës, pastrimi i plazmës, burimi i joneve të radiofrekuencës, difuzioni i plazmës, spërkatja me polimerizimin e plazmës, spërkatja reaktive, etj.