Furnizim me energji me spërkatje me frekuencë të mesme të serisë MSB
-
Furnizim me energji me spërkatje me frekuencë të mesme të serisë MSB
Furnizimi me energji RF i serisë RHH mbështetet në teknologjinë e përparuar të gjenerimit RF për t'u ofruar klientëve furnizim me energji RF me fuqi më të madhe, saktësi më të lartë dhe përgjigje të shpejtë. Me fazë të konfigurueshme, kontroll të pulseve, akordim dixhital dhe funksione të tjera. Fushat e zbatueshme: industria fotovoltaike, industria e ekraneve me panele të sheshta, industria e gjysmëpërçuesve, industria kimike, laboratori, kërkimi shkencor, prodhimi, etj.
Proceset e zbatueshme: depozitimi kimik i avullit i përforcuar me plazmë (PECVD), gdhendje me plazmë, pastrim plazme, burim jonesh me frekuencë radioje, difuzion plazme, spërkatje me polimerizim plazme, spërkatje reaktive, etj.