Furnizimi me energji RF i serisë RHH
-
Furnizimi me energji RF i serisë RHH
Furnizimi me energji RF i serisë RHH mbështetet në teknologjinë e pjekur të gjenerimit RF për t'u ofruar klientëve furnizim me energji RF me fuqi më të madhe, saktësi më të lartë dhe përgjigje të shpejtë.Me fazë mund të vendoset, pulsi i kontrollueshëm, akordimi dixhital dhe funksione të tjera.Fushat e aplikueshme: industria fotovoltaike, industria e ekranit të paneleve të sheshta, industria e gjysmëpërçuesve, industria kimike, laboratori, kërkimi shkencor, prodhimi, etj.
Proceset e aplikueshme: depozitimi i avullit kimik i përmirësuar i plazmës (PECVD), gravurja e plazmës, pastrimi i plazmës, burimi i joneve të radiofrekuencës, difuzioni i plazmës, spërkatja me polimerizimin e plazmës, spërkatja reaktive, etj.