Furnizim me energji me spërkatje
-
Furnizim me energji me spërkatje me frekuencë të mesme të serisë MSB
Furnizimi me energji RF i serisë RHH mbështetet në teknologjinë e përparuar të gjenerimit RF për t'u ofruar klientëve furnizim me energji RF me fuqi më të madhe, saktësi më të lartë dhe përgjigje të shpejtë. Me fazë të konfigurueshme, kontroll të pulseve, akordim dixhital dhe funksione të tjera. Fushat e zbatueshme: industria fotovoltaike, industria e ekraneve me panele të sheshta, industria e gjysmëpërçuesve, industria kimike, laboratori, kërkimi shkencor, prodhimi, etj.
Proceset e zbatueshme: depozitimi kimik i avullit i përforcuar me plazmë (PECVD), gdhendje me plazmë, pastrim plazme, burim jonesh me frekuencë radioje, difuzion plazme, spërkatje me polimerizim plazme, spërkatje reaktive, etj.
-
Furnizim me energji me spërkatje të serisë MSD
Furnizimi me energji DC me spërkatje serie MSD përdor sistemin bazë të kontrollit DC të kompanisë të kombinuar me skemë të shkëlqyer të përpunimit të harkut, në mënyrë që produkti të ketë performancë shumë të qëndrueshme, besueshmëri të lartë të produktit, dëmtime të vogla të harkut dhe përsëritshmëri të mirë të procesit. Përdor ndërfaqen e ekranit në kinezisht dhe anglisht, e lehtë për t'u përdorur.