Kontrolluesi i energjisë i serisë TPM5
-
Kontrolluesi i energjisë i serisë TPM5
Kontrolluesi i energjisë i serisë TPM5 adopton idenë e dizajnit të modulit dhe integron deri në 6 qarqe brenda. Produktet përdoren kryesisht në furrat e difuzionit, PECVD, furrat e epitaksisë etj.